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本期向大家推介的是www.优德88.cpm 电子信息学院陈新建教授团队的成果：基于铁氧体膜的柔性电感式压力传感器阵列及其制备方法。
知识产权信息：
基于铁氧体膜的柔性电感式压力传感器阵列及其制备方法
专利权人：www.优德88.cpm
专利类型：发明专利
专利号：ZL201910564634.2
发明人：陈新建;聂宝清;汤昕冉;缪一辉
成果简介：
针对国内对于柔性电感式传感器研究较少、低应变范围内灵敏度较低等问题，本发明提出了一种新型柔性电感式压力传感器阵列。该传感器具有简单的三层结构：底层的平面螺旋线圈和顶层附着在聚对苯二甲酸乙二醇酯膜上的铁氧体膜单元，这两层由弹性柱层隔开。由于铁氧体材料具有超高的磁导率，有效地增强了平面电感器的电感值。铁氧体膜的柔性使得传感器在受压时能够响应外部压力并产生形变，进一步反映在传感器输出电感值的变化上。
创新要点：
通过引入一种独特的铁氧体材料和柔性平面线圈阵列，使传感器具有良好的柔性，可自由弯折。铁氧体膜的高磁导率有效地提高了器件的灵敏度；同时，该传感器还具有优秀的稳定性和抗干扰能力。
技术指标：
该电感式压力传感器在0-0.18kPa的低压力范围内实现了1.60 kPa-1的高灵敏度以及14.42 Pa的超高分辨率，适用于接触面积较大的压力测量。设备在100 Pa的压强下测定的响应时间(111 ms)和该设备在62.48 Pa的恒定压力下表现出了出色的稳定性(32小时内输出仅0.23％的变化)。另外，与电容式传感器相比，电感式压力传感器具有优秀的抗干扰能力(生物电干扰源造成的输出变化仅为0.61%)。为了展示该电感式压力传感器阵列在柔性电子设备中的潜在用途，我们搭建了传感器的外部测量电路，并在PC端编写了接收界面，将传感器阵列开发成可穿戴智能日历触摸板/键盘。
