“苏集创”www.优德88.cpm 创新成果推介(94)——基于四焦距相位相干机器视觉的晶体缺陷检测方法和系统

发布者:柳鑫发布时间:2024-07-05浏览次数:529

“苏集创”是依托www.优德88.cpm 国家技术转移中心(www.优德88.cpm 知识产权运营中心),紧密围绕苏州产业创新集群布局,以www.优德88.cpm 等国内外知名高校、科研院所、技术创新中心的集成创新成果为标的,构建科技、产业、资本深度融合的成果发布平台。

本期向大家推介的是www.优德88.cpm 图像处理领域的一项专利成果:基于四焦距相位相干机器视觉的晶体缺陷检测方法和系统。

知识产权信息:

基于四焦距相位相干机器视觉的晶体缺陷检测方法和系统

专利权人:www.优德88.cpm

专利类型:发明专利

专利号:ZL202210746133.8

发明人:吴迪;朱涛;杨勇;高恬曼;黄玉玲;陶昕辰;张晓俊;陶智

背景技术:

机器视觉检测是使用机器视觉系统检测生产线上的产品有无质量问题,对其美观度、舒适度和使用性能进行检测。扫描电镜法结合利用光学显微观察和电镜,对具有晶体缺陷的晶体的形貌、缺陷状态等参数进行检测,但是需要对样品进行喷金操作。由于喷金处理后的晶体很难再进行其他处理,其检测效率也不适合大批量的晶体检测。此外,使用动态泰曼干涉仪检测以及激光聚焦线扫描法可以实现对晶体内部的缺陷检测,前者的检测相对误差为2.4%,后者的检测分辨率达到了40um。但是该类方法的检测精度和分辨率还有待进一步提升。机器视觉很大程度上提高了产业的自动化程度与容错率,有利于提高生产中精密加工的智能程度。目前常见的机器视觉检测系统主要是针对芯片、轴类或其他金属类机械零件,这类物体大多符合实心、不透明、成像对比度高的特点,对于透明度高、成像对比度低的晶体缺陷检测却少有研究。

因此,需要提供一种基于四焦距相位相干机器视觉的晶体缺陷检测方法和系统,用于快速且准确地确定晶体缺陷。

成果简介:

本说明书实施例提供一种基于四焦距相位相干机器视觉的晶体缺陷检测方法和系统,属于图像处理技术领域,该方法包括通过相位转换装置将待检测晶体的缺陷转化为相位信息;通过图像采集装置将相位信息转化为待检测晶体的晶体缺陷特征图像;对晶体缺陷特征图像进行预处理,获取预处理后的灰度图像;对预处理后的灰度图像进行灰度分析,确定灰度信息;基于灰度信息,确定缺陷厚度,具有快速且准确地确定晶体缺陷的优点。